一、用途
SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
特點
1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。
3. 可載入＊大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。
4. 強大的鼠標控制功能，可實現電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統，潔凈無污染。
二、技術規格
項目 內容 二次電子分辨率 3.0nm（高真空，30kV） 背散射電子分辨率 4.0nm(低真空：6Pa，30kV） 倍率 5～300,000X 加速電圧 0.3～30 kV 樣品臺 X 0～80 mm Y 0～40 mm； Z 5～50 mm； T -20°～ 90°； R 360° 樣品臺控制 手動（可選：2軸馬達） ＊大載入樣品尺寸 直徑：153 mm ＊大觀察范圍 直徑：126 mm（XYR并用） ＊大樣品高度 60 mm（WD=15 mm） 低真空范圍 6-270Pa(從菜單設定) 燈絲 預對中鎢燈絲 物鏡光闌 4孔可變光闌 槍偏壓 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 檢測器 二次電子檢測器，高靈敏度半導體背散射電子檢測器 EDX分析位置 WD=15,TOA=35° 真空系統 分子泵1臺，機械泵1臺 安全措施 停電，漏電，自動保護
